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Fundamentals of microfabrication and nanotechnology

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Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Madou, Marc J
Natura:	Printed Book
Lingua:	English
Pubblicazione:	Boca Raton CRC Press 2012
Edizione:	3rd ed.
Soggetti:	Microelectromechanical systems Nano electromechanical systems Microfluidics Solidstate physics

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