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Fundamentals of microfabrication and nanotechnology

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Madou, Marc J
Format:	Printed Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Boca Raton CRC Press 2012
Ausgabe:	3rd ed.
Schlagworte:	Microelectromechanical systems Nano electromechanical systems Microfluidics Solidstate physics

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