Đang tải...
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Printed Book |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
Boca Raton
CRC Press
2012
|
| Phiên bản: | 3rd ed. |
| Những chủ đề: |
| Mô tả sách: | V1. Solid state physics, fluidics and analytical techniques in micro and nanotechnology V2.Manufacturing techniques for microfabrication and nano technology V3. From Mems to Bio-MEMS and Bio-NEMS |
|---|---|
| Mô tả vật lý: | 3v. |
| số ISBN: | 978142005545 |