Madou, M. J. (2012). Fundamentals of microfabrication and nanotechnology (3rd ed.). CRC Press.
Chicago-стиль цитированияMadou, Marc J. Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology. 3rd ed. Boca Raton: CRC Press, 2012.
MLA-цитированиеMadou, Marc J. Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology. 3rd ed. CRC Press, 2012.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.