Lithography main techniques

Detaylı Bibliyografya
Yazar: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Materyal Türü: Printed Book
Dil:English
Baskı/Yayın Bilgisi: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Konular:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Diğer Bilgiler
Fiziksel Özellikler:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

Benzer Materyaller