Lithography main techniques

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Materialtyp: Printed Book
Språk:English
Publicerad: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Ämnen:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Beskrivning
Fysisk beskrivning:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

Liknande verk