Lithography main techniques

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Format: Printed Book
Jezik:English
Izdano: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Teme:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Opis
Fizični opis:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

Podobne knjige/članki