Lithography main techniques

Библиографические подробности
Главный автор: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Формат: Printed Book
Язык:English
Опубликовано: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Предметы:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Описание
Объем:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

Схожие документы