Lithography main techniques

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Formato: Printed Book
Idioma:English
Publicado em: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Assuntos:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Descrição
Descrição Física:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

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