Lithography main techniques

Opis bibliograficzny
1. autor: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Format: Printed Book
Język:English
Wydane: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Hasła przedmiotowe:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Opis
Opis fizyczny:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

Podobne zapisy