Lithography main techniques

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Formaat: Printed Book
Taal:English
Gepubliceerd in: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Onderwerpen:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Omschrijving
Fysieke beschrijving:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

Gelijkaardige items