Lithography main techniques

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Natura: Printed Book
Lingua:English
Pubblicazione: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Soggetti:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Descrizione
Descrizione fisica:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

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