Lithography main techniques

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Landis, Stefan., ed (ed.by)
פורמט: Printed Book
שפה:English
יצא לאור: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
נושאים:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
תיאור
תיאור פיזי:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

פריטים דומים