Lithography main techniques

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Formatua: Printed Book
Hizkuntza:English
Argitaratua: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Gaiak:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Deskribapena
Deskribapen fisikoa:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

Antzeko izenburuak