Lithography main techniques

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Μορφή: Printed Book
Γλώσσα:English
Έκδοση: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Θέματα:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

Παρόμοια τεκμήρια