Lithography main techniques

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Format: Printed Book
Sprog:English
Udgivet: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Fag:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Beskrivelse
Fysisk beskrivelse:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

Lignende værker