Lithography main techniques

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Médium: Printed Book
Jazyk:English
Vydáno: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Témata:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Popis
Fyzický popis:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

Podobné jednotky