Lithography main techniques

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Landis, Stefan., ed (ed.by)
Format: Printed Book
Idioma:English
Publicat: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
Matèries:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
Descripció
Descripció física:xxv, 377p.
ISBN:9781848212022

Ítems similars