Lithography main techniques

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Landis, Stefan., ed (ed.by)
التنسيق: Printed Book
اللغة:English
منشور في: U.K. ISTE Ltd and John wiley 2011
الموضوعات:
Lithography
Electron beam lithography
Microlithography
الوصف
وصف مادي:xxv, 377p.
ردمك:9781848212022

مواد مشابهة