Laser microfabrication: thin film process and lithography

Библиографические подробности
Главный автор: Laser
Формат: Printed Book
Язык:English
Опубликовано: Boston Academic Press 1989
Предметы:
laser fabrication > Thin film process > lithography > Ehrlich, Daniel J
Описание
Примечание:
Объем:xii, 587p.

Схожие документы