Laser. (1989). Laser microfabrication: Thin film process and lithography. Academic Press.
Chicago-стиль цитированияLaser. Laser Microfabrication: Thin Film Process and Lithography. Boston: Academic Press, 1989.
MLA-цитированиеLaser. Laser Microfabrication: Thin Film Process and Lithography. Academic Press, 1989.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.