Laser. (1989). Laser microfabrication: Thin film process and lithography. Academic Press.
Chicago ZitierstilLaser. Laser Microfabrication: Thin Film Process and Lithography. Boston: Academic Press, 1989.
MLA ZitierstilLaser. Laser Microfabrication: Thin Film Process and Lithography. Academic Press, 1989.
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