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Photonic MEMS devices design,fabrication and control

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Liu, Ai-Qun...[et.al]
Format:	Printed Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Boca Raton CRC Press 2009
Schlagworte:	Microelectromechanical systems

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