Photonic MEMS devices design,fabrication and control

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Liu, Ai-Qun...[et.al]
Formato: Printed Book
Idioma:English
Publicado em: Boca Raton CRC Press 2009
Assuntos:
Microelectromechanical systems
Descrição
Descrição Física:483p.
ISBN:9781420045680

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