Photonic MEMS devices design,fabrication and control

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Liu, Ai-Qun...[et.al]
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Boca Raton CRC Press 2009
Schlagworte:
Microelectromechanical systems
Beschreibung
Beschreibung:483p.
ISBN:9781420045680

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