Scaling issues and design of MEMS

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Baglio, Salvatore
Otros Autores: Castorina, Saslvatore Savalli, Nicolo
Formato: Printed Book
Lenguaje:English
Publicado: Chichester John Wiley and Sons 2007
Materias:
Microelectromechanical systems - design and construction > MEMS

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Número de Clasificación: 621.382 BAG
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