Baglio, S., & Castorina, S. S. (2007). Scaling issues and design of MEMS. John Wiley and Sons.
Chicago Stili AlıntıBaglio, Salvatore, ve Saslvatore Savalli Castorina. Scaling Issues and Design of MEMS. Chichester: John Wiley and Sons, 2007.
MLA AlıntıBaglio, Salvatore, ve Saslvatore Savalli Castorina. Scaling Issues and Design of MEMS. John Wiley and Sons, 2007.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..