Baglio, S., & Castorina, S. S. (2007). Scaling issues and design of MEMS. John Wiley and Sons.
Chicago ZitierstilBaglio, Salvatore, und Saslvatore Savalli Castorina. Scaling Issues and Design of MEMS. Chichester: John Wiley and Sons, 2007.
MLA ZitierstilBaglio, Salvatore, und Saslvatore Savalli Castorina. Scaling Issues and Design of MEMS. John Wiley and Sons, 2007.
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