Plasma-Aided nanofabrication:from plasma sources to nanoassembly

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Ostrikov, Kostya(Ken)
Weitere Verfasser: Xu, Shuyan
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Weinhein Wiley - VCH 2007.
Schlagworte:
Nanostructured materials > Plasma engineering > Low temparature plasmas > Manufactureing processes

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Signatur: 620.1.03 OST
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