Plasma-Aided nanofabrication:from plasma sources to nanoassembly

Detalles Bibliográficos
Autor Principal: Ostrikov, Kostya(Ken)
Outros autores: Xu, Shuyan
Formato: Printed Book
Idioma:English
Publicado: Weinhein Wiley - VCH 2007.
Subjects:
Nanostructured materials > Plasma engineering > Low temparature plasmas > Manufactureing processes
Descripción
descrición da copia:
Descrición Física:xiii,300p.
ISBN:9783527406333

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