Plasma-Aided nanofabrication:from plasma sources to nanoassembly

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Ostrikov, Kostya(Ken)
Otros Autores: Xu, Shuyan
Formato: Printed Book
Lenguaje:English
Publicado: Weinhein Wiley - VCH 2007.
Materias:
Nanostructured materials > Plasma engineering > Low temparature plasmas > Manufactureing processes
Descripción
Notas:
Descripción Física:xiii,300p.
ISBN:9783527406333

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