Plasma-Aided nanofabrication:from plasma sources to nanoassembly

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Ostrikov, Kostya(Ken)
Weitere Verfasser: Xu, Shuyan
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Weinhein Wiley - VCH 2007.
Schlagworte:
Nanostructured materials > Plasma engineering > Low temparature plasmas > Manufactureing processes
Beschreibung
Beschreibung:
Beschreibung:xiii,300p.
ISBN:9783527406333

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