Handbook of silicon wafer cleaning technology

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Övriga upphovsmän: Kern, Werner
Materialtyp: Printed Book
Språk:English
Publicerad: Norwich William Andrew 2008
Upplaga:2nd
Ämnen:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping

UL

Beståndsuppgifter i UL
Signum: 621.315.617 REI
Exemplar Status otillgänglig

Liknande verk