Handbook of silicon wafer cleaning technology

Détails bibliographiques
Auteur principal: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Autres auteurs: Kern, Werner
Format: Printed Book
Langue:English
Publié: Norwich William Andrew 2008
Édition:2nd
Sujets:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping

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Cote: 621.315.617 REI
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