Handbook of silicon wafer cleaning technology

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Outros Autores: Kern, Werner
Formato: Printed Book
Idioma:English
Publicado em: Norwich William Andrew 2008
Edição:2nd
Assuntos:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping

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