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Handbook of silicon wafer cleaning technology

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Altri autori:	Kern, Werner
Natura:	Printed Book
Lingua:	English
Pubblicazione:	Norwich William Andrew 2008
Edizione:	2nd
Soggetti:	Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping

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