Handbook of silicon wafer cleaning technology

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Altri autori: Kern, Werner
Natura: Printed Book
Lingua:English
Pubblicazione: Norwich William Andrew 2008
Edizione:2nd
Soggetti:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping

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Collocazione: 621.315.617 REI
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