Handbook of silicon wafer cleaning technology

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Altres autors: Kern, Werner
Format: Printed Book
Idioma:English
Publicat: Norwich William Andrew 2008
Edició:2nd
Matèries:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping

UL

Detall dels fons de UL
Signatura: 621.315.617 REI
Còpia Comprovació en temps real no disponible

Ítems similars