Handbook of silicon wafer cleaning technology

书目详细资料
主要作者: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
其他作者: Kern, Werner
格式: Printed Book
语言:English
出版: Norwich William Andrew 2008
版:2nd
主题:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
实物特征
Item Description:
实物描述:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

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