Handbook of silicon wafer cleaning technology

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Övriga upphovsmän: Kern, Werner
Materialtyp: Printed Book
Språk:English
Publicerad: Norwich William Andrew 2008
Upplaga:2nd
Ämnen:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
Beskrivning
Beskrivning:
Fysisk beskrivning:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

Liknande verk