Handbook of silicon wafer cleaning technology

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Drugi avtorji: Kern, Werner
Format: Printed Book
Jezik:English
Izdano: Norwich William Andrew 2008
Izdaja:2nd
Teme:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
Opis
Opis knjige/članka:
Fizični opis:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

Podobne knjige/članki