Handbook of silicon wafer cleaning technology

Библиографические подробности
Главный автор: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Другие авторы: Kern, Werner
Формат: Printed Book
Язык:English
Опубликовано: Norwich William Andrew 2008
Редактирование:2nd
Предметы:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
Описание
Примечание:
Объем:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

Схожие документы