Handbook of silicon wafer cleaning technology

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Andere auteurs: Kern, Werner
Formaat: Printed Book
Taal:English
Gepubliceerd in: Norwich William Andrew 2008
Editie:2nd
Onderwerpen:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
Omschrijving
Beschrijving item:
Fysieke beschrijving:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

Gelijkaardige items