Handbook of silicon wafer cleaning technology

ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
अन्य लेखक: Kern, Werner
स्वरूप: Printed Book
भाषा:English
प्रकाशित: Norwich William Andrew 2008
संस्करण:2nd
विषय:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
विवरण
वस्तु वर्णन:
भौतिक वर्णन:xxvi, 718p
आईएसबीएन:9780815515548

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