Handbook of silicon wafer cleaning technology

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Muut tekijät: Kern, Werner
Aineistotyyppi: Printed Book
Kieli:English
Julkaistu: Norwich William Andrew 2008
Painos:2nd
Aiheet:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
Kuvaus
Huomautukset:
Ulkoasu:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

Samankaltaisia teoksia