Handbook of silicon wafer cleaning technology

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Beste egile batzuk: Kern, Werner
Formatua: Printed Book
Hizkuntza:English
Argitaratua: Norwich William Andrew 2008
Edizioa:2nd
Gaiak:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
Deskribapena
Alearen deskribapena:
Deskribapen fisikoa:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

Antzeko izenburuak