Handbook of silicon wafer cleaning technology

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Otros Autores: Kern, Werner
Formato: Printed Book
Lenguaje:English
Publicado: Norwich William Andrew 2008
Edición:2nd
Materias:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
Descripción
Notas:
Descripción Física:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

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