Handbook of silicon wafer cleaning technology

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Weitere Verfasser: Kern, Werner
Format: Printed Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Norwich William Andrew 2008
Ausgabe:2nd
Schlagworte:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
Beschreibung
Beschreibung:
Beschreibung:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

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