Handbook of silicon wafer cleaning technology

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Andre forfattere: Kern, Werner
Format: Printed Book
Sprog:English
Udgivet: Norwich William Andrew 2008
Udgivelse:2nd
Fag:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
Beskrivelse
Emne beskrivelse:
Fysisk beskrivelse:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

Lignende værker