Handbook of silicon wafer cleaning technology

Manylion Llyfryddiaeth
Prif Awdur: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Awduron Eraill: Kern, Werner
Fformat: Printed Book
Iaith:English
Cyhoeddwyd: Norwich William Andrew 2008
Rhifyn:2nd
Pynciau:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
Disgrifiad
Disgrifiad o'r Eitem:
Disgrifiad Corfforoll:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

Eitemau Tebyg