Handbook of silicon wafer cleaning technology

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Reinhardt, Karen. A. (ed.by)
Další autoři: Kern, Werner
Médium: Printed Book
Jazyk:English
Vydáno: Norwich William Andrew 2008
Vydání:2nd
Témata:
Silcon-on-insulator technology > Silicon wafer > Dry cleaning > Wet chemical processes > Plasma stripping
Popis
Popis jednotky:
Fyzický popis:xxvi, 718p
ISBN:9780815515548

Podobné jednotky